在半導體行業(yè)中都是采用羅茨真空泵與干泵組成的真空機組，一方面可以減少干泵的尺寸，另一方面可以在中真空范圍內獲得較大的抽速。由于羅茨真空泵的軸承和同步齒輪都需要潤滑，這潤滑油會對真空工藝造成污染。解決的辦法是在齒輪箱的端蓋上外接一段真空管路，并用另一臺輔助真空泵將齒輪箱內的壓力抽到低于羅茨泵的入口壓力，見圖1所示。
這樣，在這個壓力梯度下，齒輪箱內油蒸汽就不會通過迷宮式軸封而進入泵腔造成污染。另外當羅茨真空泵抽除有害氣體時，要求電機傳動軸的密封絕對不能泄漏，因而出現(xiàn)了屏蔽電機羅茨泵，確實做到了零泄漏。 |
