真空泵系統(tǒng)所用材料主要指真空管道系統(tǒng)、閥門(mén)及密封材料等.真空管道系統(tǒng)材質(zhì)有金屬、橡皮和玻璃等幾類(lèi)，它們各有特點(diǎn)，究竟采用何種視具體情況而定.管道與真空元件之間的聯(lián)結(jié)可采用焊接、熔接、法蘭盤(pán)聯(lián)結(jié)等.系統(tǒng)中的閥門(mén)分為金屬閥門(mén)和玻璃真空活栓兩種。真空系統(tǒng)中常用的密封材料有真空封油、真空封臘、真空封泥、真空漆和環(huán)氧樹(shù)脂等.
采用油擴(kuò)散泵的真空系統(tǒng)中，為防止油蒸汽進(jìn)入被抽系統(tǒng)，常采用擋板或冷阱來(lái)隔斷油蒸汽。在冷阱中可放置干冰或液氮以冷凝和吸附系統(tǒng)內(nèi)油蒸汽，并可進(jìn)一步提高真空度。
